0
0руб.

привезём 28 июля,бесплатно от 3000 руб.

телефон

8 (495) 133 - 59 - 27

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Издательство: Техносфера

Серия: Мир электроники

Код Sprinter: 152569

139р.
в наличии
Купить
Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок. Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям ВУЗов.
  • Издательство: Техносфера
  • Серия: Мир электроники
  • Год: 2006
  • Страниц: 192
  • Обложка: твердый переплет
  • ISBN: 5-94836-039-3
  • Том: 1
Задать вопрос / добавить отзыв

Авторизуйтесь чтобы добавить свой вопрос или отзыв. Если Вы не регистрировались, кликните здесь

8 (495) 133-59-27

Следите за акциями и спецпредложениями,
участвуйте в викторинах, опросах и коллективных скидках, получайте призы!

Rambler's Top100
Рейтинг @Mail.ru

Создание сайта

Все права защищены © 2006-2017 Sprinter.ru ®

Персональные данные используются на сайте в целях его функционирования, и если Вы не согласны, то должны покинуть сайт.

Продолжение пребывания на сайте будет являться Вашим согласием на возможное использование персональных данных.

()
Добро пожаловать

Нет аккаунта? Зарегистрируйтесь.

Запомнить меня
или
Зайти с Facebook Зайти с ВКонтакте