0
0руб.

телефон

8 (495) 133 - 59 - 27

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Издательство: Техносфера

Серия: Мир электроники

Код Sprinter: 152569

128р.
в наличии
Купить
Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы
Проведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок. Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям ВУЗов.
  • Издательство: Техносфера
  • Серия: Мир электроники
  • Год: 2006
  • Страниц: 192
  • Обложка: твердый переплет
  • ISBN: 5-94836-039-3
  • Формат: 60x90/16 (145x215 мм)
  • Том: 1
Задать вопрос / добавить отзыв

Авторизуйтесь чтобы добавить свой вопрос или отзыв. Если Вы не регистрировались, кликните здесь

Новинки раздела
8 (495) 133-59-27

Следите за акциями и спецпредложениями,
участвуйте в викторинах, опросах и коллективных скидках, получайте призы!

Rambler's Top100
Рейтинг @Mail.ru

Создание сайта

Все права защищены © 2006-2017 Sprinter.ru ®
()

Добро пожаловать

Нет аккаунта? Зарегистрируйтесь.

Запомнить меня
или
Зайти с Facebook Зайти с ВКонтакте